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펌프 랙
(Pump Rack)

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Vacuum Pump 구동 시 필요한 모든 Parts(AGV, Vacuum Pipe, Silencer, Hot-N2, Utility 등)를 장착할 수 있는 구조물로 Parts를 설치할 수 있는 Bracket이 적용되어 있으며, Cable을 통해 Vacuum Pump로 연결할 수 있도록 설계되어 있습니다. Parts 모델별로 규격화를 실현하여 설치 및 교체작업이 용이합니다.